Diseño de un sistema de síntesis de nanohilos de silicio a escala de planta piloto

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García Bertó, ManuelFecha
2012-12-03Departamento/s
Ingeniería Química, Tecnología de Alimentos y Tecnologías del Medio AmbienteResumen
El objeto del presente Proyecto Fin de Carrera es el diseño de un sistema,
a escala de planta piloto, de síntesis de nanohilos de silicio (utilizando la
tecnología existente para la manufactura de películas del citado semiconductor).
En concreto, se utiliza la técnica de deposición química de vapor (CVD), y se
incluyen aspectos básicos de las unidades complementarias para el
funcionamiento de la línea de proceso, a saber, intercambiadores de calor y
transporte de fluidos.