RT master thesis T1 Ingeniería de Capas Delgadas de InAlN para Fotónica y Electrónica de Alta Frecuencia A1 José Manuel Mánuel Delgado A2 Ciencia de los Materiales e Ingeniería Metalúrgica y Química Inorgánica K1 Microscopía Electrónica de Transmisión K1 InAlN K1 GaN AB este trabajo de investigación se realiza una completa caracterización dedistintas heteroestructuras de InAlN con sustrato GaN, usando técnicas basadas en la microscopía electrónica de transmisión (TEM). Este estudio se completa con otrosresultados de técnicas basadas en el uso de rayos X e iones secundarios, y que son un buen complemento para llegar a una serie conclusiones que en definitiva han servido para ayudar a los fabricantes a optimizar un producto consistente en capas depositadas de InAlN. El resultado positivo de este proceso de retroalimentación se comprueba mediante la demostración final de capas de InAlN de una calidad estructural sin precedentes. YR 2013 FD 2013-09-05T00:00:00Z LK http://hdl.handle.net/10498/15527 UL http://hdl.handle.net/10498/15527 LA spa NO Memoria presentada para optar al título de máster en Ciencias y Tecnologías Químicas. Defensa de la memoria: 10 de diciembre de 2009. DS Repositorio Institucional de la Universidad de Cádiz RD 05-nov-2026